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        半導體潔凈車間注意事項

        2016-10-22 02:05:14   作者:admin  出處:科瓦特

          半導體組件空間單位都是以微米來計算的,所以微塵顆粒附著在制作半導體組件的晶圓上,很有可能影響到上面的精密導線布局的樣式,造成短路或斷路情況。因此所有半導體制程設備都必須放置在隔絕粉塵進入的密閉空間里,這就是半導體潔凈車間的來由。

          下面給大家說說出入半導體潔凈車間需要注意的事項:

          1.半導體潔凈車間內部要確保粉塵只出不進,因此潔凈車間室內要保持大于大氣壓的環境,這就需要用大型鼓風機將經凈化設備的空氣源源輸入潔凈車間中。

          2.為保持恒溫恒濕,大型空調設備須搭配前面的鼓風加壓系統使用。鼓風機加壓多久,空調就得開多久。

          3.所有經凈化設備的空氣流動方向均由上往下為主,因此潔凈車間室內空間設計或機臺擺放應避免突兀,使塵埃細菌等在潔凈車間內回旋停滯的機會與時間減至最低程度。

          4.所有建材均以不易產生靜電吸附的材質為主。

          5.所有人或事物進出潔凈車間,人必須穿配套防塵服,人或事物都要經過風淋室吹淋以將表面粉塵先行除掉。

          6.半導體潔凈車間內水的使用只限用去離子水。一是防止水中粉粒污染晶圓,二是防止水中重金屬離子污染金氧半晶體管結構的帶電載子信道,影響半導體組件的工作特性。去離子水是 的溶劑與清潔劑,在半導體工業的使用量非常驚人。

          7.半導體潔凈車間用到的氣源,包括吹干晶圓和機臺空壓所需要的,都需要使用98%氮氣,吹干晶圓的氮氣甚至要求99.8%以上的高純氮。

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